PZ 250 CAP WL專為直徑達(dá)12英寸的半導(dǎo)體晶片的精確定位而開發(fā)

 

公司簡(jiǎn)介：

 

壓電位移臺(tái)PIEZOSYSTEM

德國(guó)PIEZOSYSTEM JENA成立于1991年，為半導(dǎo)體，顯微鏡和同步加速器領(lǐng)域提供壓電微定位，壓電定位和計(jì)量解決方案。PIEZOSYSTEM JENA在將壓電技術(shù)應(yīng)用于定位任務(wù)，壓電彎曲階段的設(shè)計(jì)以及壓電機(jī)械系統(tǒng)的開發(fā)方面擁有廣泛的知識(shí)和深入的技術(shù)專長(zhǎng)?；趬弘姷膬x器配備了壓電技術(shù)，可提供幾乎無限分辨率的XY或3D運(yùn)動(dòng)。PIEZOSYSTEM JENA的計(jì)量實(shí)驗(yàn)室配備了高分辨率測(cè)距干涉儀，使其能夠?qū)Ψ直媛实椭?0皮米的壓電平臺(tái)，z軸顯微鏡壓電元件和壓電執(zhí)行器系統(tǒng)的自定義加載配置進(jìn)行測(cè)試。準(zhǔn)確確定一次共振是PIEZOSYSTEM JENA可以為客戶提供的眾多服務(wù)之一，以確保提供的系統(tǒng)能夠滿足苛刻的定位任務(wù)。

 

主營(yíng)產(chǎn)品有：壓電陶瓷環(huán)、線性促動(dòng)器、兩軸位移臺(tái)、三軸位移臺(tái)、五軸位移臺(tái)、偏擺臺(tái)等

 

PZ 250 CAP WL

 

PZ 250 CAP WL專為直徑達(dá)12英寸的半導(dǎo)體晶片的精確定位而開發(fā)。致動(dòng)器在Z方向上提供250 μm的運(yùn)動(dòng)行程?？梢詫?shí)現(xiàn)納米級(jí)的精度?？梢蚤L(zhǎng)期穩(wěn)定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250 CAP WL可以承載高達(dá)3公斤的負(fù)荷。

 

1、同一系列的不同型號(hào)之間，主要差別在于行程，以及行程不同引起的精度差異、尺寸差異等，例如：

 

型號(hào)：PZ 250 CAP WL

 

編號(hào)：S-627-51 D

軸：Z

行程 (±10%)：350μm

分辨率。：3nm

尺寸(長(zhǎng)x寬x高)：400 x 380 x 20mm

 

PZ 250 CAP WL專為直徑達(dá)12英寸的半導(dǎo)體晶片的精確定位而開發(fā)