產(chǎn)品介紹
直流濺射電源GSW 100–GSW 300
可同時運(yùn)行至240kW,可增加輸出功率。有了特殊的電路概念,"主奴隸布線"可以免除。即使在非空調(diào)客房,高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。
這些設(shè)備可以通過活動前面板或界面手動操作。提供各種前面板和接口模塊。極快的弧形處理完全自動工作,即使在并行操作中也不需要外部同步。
輸出功率10-30kW
水冷卻
19"住房, 3 U
電磁閥控制
無潛力輸出
并行運(yùn)行至240kW
自動弧形處理
直流濺射電源GX 50–GX 150
GX 濺射電源能夠自動擦除高達(dá)每秒 80,000 個弧。極端性能,加上小尺寸,是GX系列的突出標(biāo)志。
這些設(shè)備可以全額定功率運(yùn)行,不受切換時間的限制,也可以并行連接。
輸出功率5-15kW
水冷卻
1/2 19" 住房, 3U
無潛力輸出
焦耳時尚
自動弧形處理
直流濺射電源 HX 150 - HX 300
1/2 19"寬度和5U的極其緊湊的設(shè)計是專門為生產(chǎn)工廠開發(fā)的,其中將不配用控制柜。HX 具有安裝選項卡,可直接集成到任何安裝位置的系統(tǒng)中。
顯示屏是旋轉(zhuǎn)的,可以從設(shè)備中分離出來。即使在非空調(diào)客房,高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。為了避免凝結(jié),可以通過集成溫度控制連接外部電磁閥。
可同時運(yùn)行至240kW,可增加輸出功率。特殊的電路概念允許主奴隸操作和并行控制通過界面組合或Provibus。極快的弧形處理完全自動工作,因此無需設(shè)置參數(shù)。
輸出功率 15kW 至 30kW
并行運(yùn)行至240kW
水冷卻
電磁閥控制
帶灰塵顆粒分離器的住房通風(fēng)
1/219" 住房, 5U
法蘭格緊固件
M8 女線起重機(jī)小眼
可拆卸旋轉(zhuǎn)顯示屏
自動弧形處理
離子源電源
對于離子源(考夫曼和ECR)的操作,提供各種特殊設(shè)備,也可以根據(jù)要求提供其他輸出電壓或服務(wù)。
所有設(shè)備均可選擇配備模擬接口或與 Profibus 連接。
脈沖發(fā)生器、選項和配件
PULSE 發(fā)電機(jī) RD 300 與大多數(shù) ADL 電源一起,按照共振開關(guān)原理工作。由于效率極高(30kW時為99.5%),該設(shè)備非常緊湊,只能產(chǎn)生最大150W的低耗電量。
現(xiàn)有系統(tǒng)可以很容易地進(jìn)行改裝,因為發(fā)電機(jī)與直流電源并行直接連接到陰極。該設(shè)備的工作頻率為 2kHz。但是,使用外部信號發(fā)生器,頻率可在 0.2 到 3kHz 之間變化。幾個發(fā)電機(jī)可以通過控制線進(jìn)行自動同步連接。
單極脈沖發(fā)生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脈沖發(fā)生器與ADL直流電源一起生成單極脈沖。這些設(shè)備的固定頻率為 20kHz。使用外部信號發(fā)生器,頻率變化范圍從 1kHz 到 40kHz 不等。發(fā)電機(jī)具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時間的參數(shù)會自動適應(yīng)相應(yīng)的過程。不需要用戶通常的編程。幾個發(fā)電機(jī)可以通過控制線進(jìn)行同步連接。設(shè)備自動切換到外部同步。
輸出功率 3 千瓦,15 千瓦,30 千瓦
并行運(yùn)行至240千瓦
自動弧形處理
無潛力輸出
自動同步
空氣
非常緊湊的設(shè)計
法蘭格緊固件
中頻和雙極脈沖發(fā)生器 SB 300
雙極脈沖發(fā)生器 SB 300 既可用作中頻發(fā)生器,以生成平衡交替電流,也可用于非對稱方脈沖的雙極脈沖器。通過特殊的功率商控制,雙磁子的目標(biāo)壽命可以精確對稱。
兩種不同的目標(biāo)材料也可以用不對稱的脈沖能力進(jìn)行控制。Qotienten 控制器通過脈沖寬度調(diào)制 (PWM) 自動設(shè)置脈沖時間。該設(shè)備的固定頻率為 20kHz。發(fā)電機(jī)具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時間的參數(shù)會自動適應(yīng)相應(yīng)的過程。不需要用戶通常的編程!幾個發(fā)電機(jī)可以通過控制線進(jìn)行同步連接。設(shè)備自動切換到外部同步。
輸出功率 30kW,交流電
主/奴隸或并行操作中的設(shè)備組合,最高可達(dá) 240kW
比率功率控制器
自動同步
水冷卻
非常緊湊的設(shè)計
無潛力輸出
模塊化系統(tǒng)允許 HX (DC) 與單極脈沖發(fā)生器 (SD) 或雙極脈沖發(fā)生器 (SB) 的組合
緊湊型 1/2 19" 設(shè)計
雙極脈沖發(fā)生器與PWM控制保證絕對對稱濺射!
卓越的超高速和全自動弧形管理
過程可重復(fù)性:優(yōu)于 1-2%
主要型號
ADL GG03
ADL GIP10
ADL GG12
ADL Profibus 2.547
ADL GS 05 – GS 30
ADL GS 60 – GS 150
ADL GSW 100 – GSW 300
ADL GX 50 – GX 150
ADL HX 150 – HX 300
ADL SD 30
ADL SD 150
ADL SD 300
ADL SB 300
ADL GSW 100/500
ADL GSW 100/800
ADL GSW 150/400
ADL GSW 150/500
ADL GS 60/800
ADL GS 80/800
ADL GSW 200/1000
ADL GX 50/800
ADL GX 60/800
ADL HX 150/400
ADL HX 150/500
ADL HX 150/800
ADL HX 150/1000
ADL HX 200/800
ADL GP 10/800
ADL GP 15/800
ADL GP 20/800
ADL GP 30/800
ADL GP 30/1000
ADL GP 60/800
ADL GP 100/800
ADL GP 120/800
ADL GP 150/800