APT勻膠旋涂儀SPIN150i
APT勻膠旋涂儀
Spin Processor勻膠旋涂儀POLOS系列
德國POLOS系列勻膠旋涂儀提供了先進(jìn)、可重復(fù)的工藝流程控制方案.
一個高效的空氣動力學(xué)腔體確保旋涂的高度均勻性，天然聚丙烯
（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）材質(zhì)，整機(jī)無?金屬裸露，無交叉污染，
易清洗維護(hù)，為用戶帶來全新的操作體驗.
操作控制器可拆卸，全尺寸的觸摸屏，可戴手套操作，耐化學(xué)性。
系統(tǒng)參數(shù)表
SPIN150i SPIN200i
程序段數(shù)： 無限制 無限制
操作步數(shù)： 無限制 無限制
旋轉(zhuǎn)速度： 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps
旋轉(zhuǎn)精度： ± 0.1 rpm ± 0.1 rpm
旋轉(zhuǎn)方向： 順時針、逆時針、交換擺動 順時針、逆時針、交換擺動
最大加速度： 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec
旋轉(zhuǎn)時間： 無限制*, ± 0.1 seconds steps 無限制*, ± 0.1 seconds steps
基片范圍： 160mm 直徑or 4?″ ?片 260 mm 直徑or 6?″ ?片
腔體直徑： 202 mm 302 mm
外形尺寸： 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
勻膠旋涂儀SPIN PROCESSOR
1、運(yùn)行條件
外殼材質(zhì)：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）
腔體材質(zhì)：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）
外部連接：通過USB連接；
輸入電壓：200-240VAC、50/60 ；
功率消耗：最?大500w
最大電流：2,5A
真空吸附：-65kPa(-19inchHg),≥80lpm，Tube OD Ø8mm
馬達(dá)保護(hù)：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm（可關(guān)閉）
排廢連接：1” M-NPT
2、清晰可見的工藝處理過程
可拆卸，與主機(jī)分離的多功能控制器
每?步運(yùn)?行的實時參數(shù)，看得?用戶常為在工藝處理過程中不能?自由調(diào)節(jié)交互
處理?而苦惱。
全彩觸摸屏界?面，所見即所得
操作安全，相當(dāng)重要
堅固的帶有鉸鏈的防護(hù)蓋板，具有良好的操作?角度及電磁閥安全鎖定。
在程序結(jié)束直到速度完全達(dá)到0 rpm或在斷電情況下才可以開啟
APT勻膠旋涂儀SPIN150i
吳要闖
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