laurell WS-1000工作站系列
三、laurell型號介紹
1.1、laurell H6-23旋轉(zhuǎn)涂布機
控制器:HL 系列
最大基板尺寸;ø150毫米(5英寸×5英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面,甲板上
1.2、laurell H6-8旋轉(zhuǎn)涂布機
控制器:HL 系列
最大基板尺寸;ø200毫米(7英寸×7英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面,甲板上
1.3、laurell H6-15旋轉(zhuǎn)涂布機
控制器:HL 系列
最大基板尺寸;ø300毫米(9英寸×9英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面,甲板上
2.1、laurell WS-650-23B旋轉(zhuǎn)涂布機
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø150毫米(5英寸×5英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面, 甲板內(nèi), 甲板上
2.2、laurell WS-650-8B旋轉(zhuǎn)涂布機
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø200毫米(7英寸×7英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面, 甲板內(nèi), 甲板上
2.3、laurell WS-650-15B旋轉(zhuǎn)涂布機
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø300毫米(9英寸×9英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面, 甲板內(nèi), 甲板上
3.1、laurell EDC-650-23B電子數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø150毫米(5英寸×5英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面, 甲板內(nèi), 甲板上
3.2、laurell EDC-650-8B電子數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø200毫米(7英寸×7英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面, 甲板內(nèi), 甲板上
3.3、laurell EDC-650-15B電子數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø300毫米(9英寸×9英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
安裝選項;桌面, 甲板內(nèi), 甲板上
4.1、laurell WS-1000
類型:4英尺工作站
控制器:650 系列
最大基板尺寸:2x ø200毫米(7英寸×7英寸)
最大轉(zhuǎn)速;12,000 轉(zhuǎn)/每分
4.2laurellWS-1000MH
類型:4英尺工作站
控制器:650 系列
最大基板尺寸:2x ø200毫米(7英寸×7英寸)
最大轉(zhuǎn)速;12,000 轉(zhuǎn)/每分