德國ATL LASER激光器ATLEX-S-ArF-300技術指導
公司介紹:
ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年,并于1994年通過開發(fā)世界上第一臺緊湊型、高重復率、短脈沖準分子激光器在紫外激光技術方面取得了突破。ATL通過幾代產(chǎn)品完善了這一革命性概念,如今,ATLEX產(chǎn)品系列以其獲得專利的預電離和放電技術引領世界。ATL繼續(xù)開發(fā)緊湊型短脈沖準分子激光器,并保持該領域的技術領先地位。
產(chǎn)品系列示例:
ATLEX-300-I系列激光器
ATLEX-500-I系列激光器
ATLEX-1000-I系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
ATLEX-500-FBG系列激光器
ATLEX-LR系列激光器
ATLEX-S系列激光器
ATLEX-S系列激光器
產(chǎn)品特點:
超緊湊的尺寸
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
完全風冷的主動熱管理
用于系統(tǒng)集成的RS-485、RS232、USB和光纖接口
可沖洗的光學支架
能量穩(wěn)定模式
動態(tài)風扇速度控制
德國ATL LASER 型號:ATLEX-S-ArF-300
氣體介質(zhì):ArF
波長:193nm
高壓開關技術:固態(tài)開關
最大脈沖能量:300Hz
最大平均功率:10mJ
空間相干(垂直光束方向):2,4W
脈沖持續(xù)時間:5–8ns
尺寸:4x6mm
光束發(fā)散:1x2mrad
能量穩(wěn)定性:<3%
尺寸:630x400x300mm
重量:65kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國ATL LASER激光器ATLEX-S-ArF-300技術指導