Physik Instrumente P-563.3CL納米級三軸定位系統(tǒng) 微加工 干涉測量等領(lǐng)域廣泛使用

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Physik Instrumente P-563.3CL納米級三軸定位系統(tǒng) 微加工 干涉測量等領(lǐng)域廣泛使用

德國PI Physik Instrumente  多軸壓電陶瓷掃描儀
 PI 不僅開發(fā)和生產(chǎn)用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸組合的各種定位平臺和執(zhí)行器。 

PI 還根據(jù)客戶特定應(yīng)用調(diào)整這些解決方案，或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

控制是重要的系統(tǒng)組件，也由 PI 提供。這不僅提供了復(fù)雜的控制概念，而且還為應(yīng)用環(huán)境提供了硬件和軟件接口。

無論是標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品還是全新開發(fā)產(chǎn)品，無論是 OEM 驅(qū)動器還是集成系統(tǒng)，我們的目標(biāo)始終是為每種可能的應(yīng)用提供最佳解決方案。

2軸和3軸版本（XY和XYθZ型）

§ 行程達(dá)200 微米

§ 亞納米級分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

·         計量

·         干涉測量

·         光子學(xué)/集成光學(xué)

·         平版印刷術(shù)

·         納米定位

·         掃描顯微鏡

·         樣本對準(zhǔn)

·         微加工

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。 

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測量實現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動導(dǎo)向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級。

訂購信息

P-517.2CL

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

P-517.2CD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-527.2CL

精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

P-527.2CD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-517.3CL

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-517.3CD

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-527.3CL

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-527.3CD

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-517.RCD

精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-527.RCD

精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺

用于多達(dá)3軸的高精度納米定位系統(tǒng)

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ 行程達(dá)300 × 300 × 300微米

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 高動態(tài)XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 超高真空版本達(dá)10-9百帕

描述

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測量實現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動導(dǎo)向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級。

訂購信息

P-561.3CD

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-561.3CL

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-561.3DD

PIMars高動態(tài)XYZ向納米定位系統(tǒng)，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，直接驅(qū)動

P-562.3CD

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-562.3CL

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-563.3CD

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-563.3CL

具有長行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

Physik Instrumente P-563.3CL納米級三軸定位系統(tǒng) 微加工 干涉測量等領(lǐng)域廣泛使用