Busch螺桿真空泵COBRA BC系列簡(jiǎn)介

擁有成本低，維護(hù)少，保養(yǎng)間隔長(zhǎng)，正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)，直接水冷卻等優(yōu)點(diǎn)；

結(jié)構(gòu)緊湊；密閉式設(shè)計(jì)；適用于輕型到中型半導(dǎo)體應(yīng)用的理想解決方案；

先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì)，鐘形懸臂結(jié)構(gòu)，榮獲專利的自平衡螺桿，出色的運(yùn)行品質(zhì)，集成羅茨泵，非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計(jì)量、平版印刷術(shù)、物理氣相沉積以及快速熱退火以及和蝕刻工藝（如氧化物、硅和金屬）等應(yīng)用；

 

螺桿真空泵

自調(diào)節(jié)冷卻裝置

Busch型號(hào)

Busch真空泵RA0100F503S/N:D15450588

Busch泵R5 RA 0160-0302D

Busch螺桿真空泵COBRA BC 1000 F

Busch油分配器0531-000-002

Busch.0524108652

Busch真空泵R5A0040E

Busch真空泵SV1025C000
 

工作原理

在 干式 螺桿真空泵中， 兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子 沿著相反方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被吸入泵缸和螺桿腔室之間

經(jīng)壓縮后輸送至出口。在此過(guò)程中，螺桿轉(zhuǎn)子不會(huì)相互接觸，也不與泵腔接觸。

可通過(guò) 風(fēng)冷或水冷 實(shí)現(xiàn)冷卻。

 

我們的螺桿真空泵產(chǎn)品組合

COBRA Industry  用于工業(yè)應(yīng)用的干式螺桿真空泵

COBRA Semicon  用于中高真空應(yīng)用的干式螺桿真空泵

 

用于化工與制藥工藝的干式真空技術(shù)

真空在化工和制藥工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。無(wú)論是在真空輸送、惰化、蒸餾還是干燥過(guò)程，對(duì)真空的利用無(wú)處不在，這可以確保加工過(guò)程更快更安全也更經(jīng)濟(jì)，或者純粹只是為了確保相關(guān)過(guò)程得以實(shí)現(xiàn)。

產(chǎn)生真空的各種技術(shù)是通用的。數(shù)十年來(lái)，液環(huán)真空泵和蒸汽噴射器一直是產(chǎn)生真空的強(qiáng)大工具。

但是，就像使用循環(huán)油潤(rùn)滑的旋片真空泵一樣，它們有一個(gè)缺點(diǎn)：它們需要工作液，而工作液會(huì)與工藝氣體接觸。

 

創(chuàng)新：干式螺桿真空泵

在 20 世紀(jì) 90 年代中期，Busch 普旭將第一臺(tái)螺桿真空泵投入市場(chǎng)，即 COBRA。與之前使用的液環(huán)真空泵相比，主要區(qū)別在于 COBRA 螺桿真空泵無(wú)需工作液來(lái)壓縮工藝氣體。“干式”螺桿真空泵（圖 1）的名字就是由此而來(lái)?，F(xiàn)在，干式螺桿真空技術(shù)在化工和制藥行業(yè)的應(yīng)用也非常廣泛。

 

工作原理

在螺桿真空泵中，兩個(gè)互鎖的螺桿形轉(zhuǎn)子沿著相反方向旋轉(zhuǎn)（圖 2）。將吸入的工藝氣體收集在泵缸和螺桿之間的腔室中，經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過(guò)程中，螺桿轉(zhuǎn)子不相互接觸，也不與泵缸接觸。此工作原理得益于精良的制造工藝和運(yùn)轉(zhuǎn)部件之間的最小間隙，能夠確保最小極限壓力（絕對(duì)壓力最高 0.01 毫巴）。

 

COBRA 螺桿真空泵與冷卻系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行，它可以確保整個(gè)泵體內(nèi)熱量均勻分配，熱效率和穩(wěn)定性更高。這樣，選擇溫度時(shí)就可以確保其不至于過(guò)低而導(dǎo)致工藝氣體凝結(jié)，也不至于過(guò)高而發(fā)生與溫度相關(guān)的潛在問(wèn)題，如氣體沉積或自燃。

不使用工作液，在工藝室壓縮時(shí)就不會(huì)發(fā)生污染或化學(xué)反應(yīng)。