有效期至長期有效 | 最后更新2021-08-30 09:32 |
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Physik Instrumente L-731 精密XY位移平臺 規(guī)格參數(shù)
王鈺
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高運動精度和穩(wěn)定性
行程為205毫米×205毫米(8")
速度達90毫米/秒
增量編碼器分辨率為10納米
單向重復精度達0.1微米
兩相步進電機或直流電機
20000次脈沖/分辨率的旋轉編碼器
采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在運動平臺上測量實際位置,因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。
光學限位和參考點開關。
交叉滾子軸承
利用交叉滾柱軸承,滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此,它們的剛度明顯提高,需要的預載更小,這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。力導向滾動體保持架防止線性導向蠕變。
驅動器類型
兩相步進電機可實現(xiàn)高轉矩(即使低速時)和高分辨率
直流電機可實現(xiàn)高速度穩(wěn)定性、低振動和高速
可按需提供其他行程。
應用領域
工業(yè)和科研。計量、檢驗、工業(yè)顯微鏡學
訂購信息
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