A-322 帶空氣軸承的PIglideHS平面掃描儀

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分辨率為1納米的XY定位系統(tǒng)

掃描應用的完美選擇或精密定位

行程達500毫米 × 1000毫米

分辨率達1納米

無塵室兼容

負載容量達245牛

速度高達2毫米/秒

PIglide參考級XY定位系統(tǒng)

PIglide HS平面掃描儀帶磁性線性電機、真空預載和絕對編碼器：非接觸式無摩擦運動可實現(xiàn)最高精度和可靠性。

絕對編碼器

絕對編碼器提供明確的位置信息，幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位，提高了操作過程中的效率和安全性。

PIMag®磁力直接驅(qū)動

三相磁性直接驅(qū)動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件，其可直接將驅(qū)動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅(qū)動器可實現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行，同時，在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅(qū)動力可任意設定。

定位系統(tǒng)設計用于將產(chǎn)出最大化的同時確保最高精度。橋軸至龍門軸的撓性聯(lián)軸器可實現(xiàn)側(cè)向解耦，不會犧牲系統(tǒng)的剛性。

利用來自領先制造商的數(shù)字控制器，操作可提供高級控制算法，以改善動態(tài)性和誤差補償。

附件和可選配件

PIglide過濾器和空氣預處理器

額外的軸

機器底座

花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

應用領域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應用，諸如計量、光子學和精密掃描以及半導體或平板顯示器制造中的應用。

由于運動無摩擦，不會形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應用。

訂購信息：

A-322.AB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，350 mm×350 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機，48 V

A-322.BB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，350 mm×500 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機，48 V

A-322.CB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，500 mm×500 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機，48 V

A-322.DB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，500 mm×1000 mm行程，絕對編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機，48 V