Q-845 PI（Physik Instrumente）六足位移臺(tái)

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PI公司介紹：

PI位于德國，是一家典型的高科技中型企業(yè)。公司的規(guī)模使其能迅速靈活地響應(yīng)客戶的要求，同時(shí)還可滿足已建立并經(jīng)測試的流程的可靠性和安全性要求。PI因其產(chǎn)品的高質(zhì)量和客戶關(guān)系的整體可靠性而聞名。

產(chǎn)品描述

六自由度      X和Y向上的行程為±7毫米，Z向上為±5毫米      θX、θY向上的的旋轉(zhuǎn)范圍為±7度， θZ向上為±8度

負(fù)載能力為10牛，居中固定      自鎖，靜止?fàn)顟B(tài)下無熱量產(chǎn)生      真空兼容至10-6百帕

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器，其保持力相對(duì)較大，行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動(dòng)器原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹，移動(dòng)轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮，停留在其位置上。高達(dá)20kHZ的工作頻率可使被直接驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)子的速度大于5毫米/秒。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個(gè)特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。力導(dǎo)向滾動(dòng)體保持架防止線性導(dǎo)向蠕變。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)和科研。測量技術(shù)、顯微鏡、顯微操縱、生物技術(shù)和自動(dòng)化。

規(guī)格

	Q-845.140	單位	公差
運(yùn)動(dòng)和定位
主動(dòng)軸	X，Y，Z，θX，θY，θZ
集成傳感器	增量線性編碼器
X、Y向上的行程*	±7	毫米
Z向上的行程*	±5	毫米
θX、θY向上的旋轉(zhuǎn)范圍*	±7	°
θZ向上的旋轉(zhuǎn)范圍*	±8	°
傳感器分辨率	1	納米
X、Y向上的小位移	6	納米	典型值
Z向上的小位移	20	納米	典型值
θX、θY、θZ向上的小位移	0.9	微弧度	典型值
X、Y向上的單向重復(fù)精度	±30	納米	典型值
Z向上的單向重復(fù)精度	±35	納米	典型值
θX向上的單向重復(fù)精度	±20	微弧度	典型值
θY向上的單向重復(fù)精度	±10	微弧度	典型值
θZ向上的單向重復(fù)精度	±6	微弧度	典型值
X、Y向上的空回	40	納米	典型值
Z向上的空回	60	納米	典型值
θX、θY向上的空回	35	微弧度	典型值
θZ向上的空回	20	微弧度	典型值
X、Y和Z向上的大速度	5	毫米/秒	大
θX、θY和θZ向上的大角速度	50	毫弧度/秒	大
機(jī)械特性
X、Y向上的剛性	1	牛/微米
Z向上的剛性	2	牛/微米
X、Y向上的負(fù)載能力	5	牛	大
Z向上的負(fù)載能力（底板為水平方向）	10	牛	大
保持力，斷電（底板為水平方向/任意方向）	20 / 10	牛	大
θX、θY、θZ向上的允許力矩	0.5	牛米	大
驅(qū)動(dòng)類型	壓電慣性驅(qū)動(dòng)器
其他
工作溫度范圍	0 到 40	°C
連接	6個(gè)Sub-D 15針（公）
材料	不銹鋼，鋁
質(zhì)量	1.9	千克	±5 %
不帶電纜和連接器的質(zhì)量	1.2	千克	±5 %
電纜長度	2	米	±10 毫米

技術(shù)參數(shù)為 20±3 °C下的數(shù)值。

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* 單個(gè)坐標(biāo)（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依賴。本表中各軸對(duì)應(yīng)的數(shù)值為其大行程，此時(shí)其他軸和樞軸點(diǎn)位于參考位置。

訂購信息

Q-845.140

Q-Motion®

SpaceFAB，壓電慣性驅(qū)動(dòng)器，X和Y向上的行程為±7毫米，Z向上的行程為±5毫米，θx、θy向上的旋轉(zhuǎn)范圍為±7度，θz向 上的旋轉(zhuǎn)范圍為±8度，負(fù)載能力為10牛，真空兼容至10-6百帕