德國MLase準分子激光器MLI系列壽命長、可靠性高、運行成本低

產品優(yōu)勢：

1.MLI系列設備為工業(yè)應用提供具有直接波長的準分子激光器。具有市場上較

張曼麗 QQ：3541447690   手機：18500768072 電話：010-64714988-195 傳真：010-84786709-667 郵件：sales95@handelsen.cn

2.MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高達16 mJ的高脈沖能量和高達1,000 Hz的重復頻率。

3.如果需要，標準設置的激光器可以根據個人需求進行調整。如：準分子激光器可用的波長為 193 nm（氣體：ArF 氟化氬）和 248 nm（氣體：KrF 氟化氪）?？筛鶕筇峁┢渌ㄩL如157nm等，也可以提供高功率版本HP

我們的LC準分子激光系統(tǒng)還能夠進行主動水冷（使用家用水或外部熱交換器;無純化水），以實現穩(wěn)定的連續(xù)運行。

重量：每件80公斤

冷卻：水

電源功率：230V50/60Hz，最大功率2000W

外形尺寸(長x寬x高)：560x355X445毫米

波長（納米）

193 193 193 248 248 248

重復頻率（赫茲）

200 500 1000 200 500 1000

穩(wěn)定的

脈沖能量 （mJ）

6 6 6 10 10 10

穩(wěn)定平均功率 （W）

1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10

脈沖穩(wěn)定性（西格瑪 %）

2 2 2 2 2 2

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×3 6×3 6×3 6×3 6×3 6×3

光束發(fā)散（FWHM，VxHmm） 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1

脈沖長度

5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-15

產品型號：

MLI - 200 / 500 / 1000

MLI-HP-KrF 500 / 1000

MLI-Krf-FBG/200/500/1000

MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000