德國Physik掃描定位器P-587 6軸壓電精密調(diào)節(jié)器

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Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達(dá)6個軸上以亞納米級精度進(jìn)行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉(zhuǎn)方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設(shè)計，有許多變體可供選擇。

6軸壓電定位器

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P-587 6軸壓電精密調(diào)節(jié)器

行程大，可直接進(jìn)行位置測量

用于 X、Y、Z、θ 的掃描和定位X0 $Y0 $Z

線性行程 800 μm × 800 μm × 200 μm

旋轉(zhuǎn)速度高達(dá) 1 mrad

通過并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的多軸精度

電容式傳感器可實現(xiàn)最大線性度

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命

無間隙和高精度固態(tài)導(dǎo)軌

所有 6 個自由度的主動補償

應(yīng)用

干涉

測量

納米壓印

半導(dǎo)體測試

半導(dǎo)體制造

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。

適用于要求苛刻的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時無需潤滑劑或潤滑脂。不含聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)特別低的釋氣率。

PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

通過無間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實現(xiàn)高導(dǎo)向精度

固態(tài)接頭導(dǎo)軌無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運行。

通過直接位置測量實現(xiàn)最高精度

運動直接在運動平臺上測量，不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這可實現(xiàn)最佳的可重復(fù)性、出色的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)的控制。

P-587.6CD

P-562.6CD PIMars 6軸納米定位工作臺

6自由度高精度納米定位器

6 個運動軸：3 ×線性，3 個×旋轉(zhuǎn)

線性行程可達(dá) 200 μm，傾斜角度可達(dá) 1 mrad。

通過并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的多軸精度

通過集成電容式傳感器實現(xiàn)最高線性度

無間隙和高精度固態(tài)導(dǎo)軌

出色的掃描平坦度

自由光圈 66 mm × 66 mm

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命

特高壓兼容多達(dá) 10 個-9hPa

應(yīng)用

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物工藝學(xué)

掩模/晶圓定位

樣品定位

干涉

測量

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。

適用于要求苛刻的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時無需潤滑劑或潤滑脂。不含聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)特別低的釋氣率。

PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

通過無間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實現(xiàn)高導(dǎo)向精度

固態(tài)接頭導(dǎo)軌無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運行。

通過平行位置測量實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度

所有自由度均根據(jù)單個固定基準(zhǔn)進(jìn)行測量?？梢詫崟r調(diào)節(jié)運動到另一個軸的不需要的串?dāng)_（取決于帶寬）（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也能實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度。

P-562.6CD