部分產(chǎn)品分類及介紹
納米定位壓電撓性位移臺
PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態(tài)掃描，在高達(dá)6的自由度下可達(dá)到幾百赫茲。
專有傳感器設(shè)計(jì)，無摩擦撓性導(dǎo)軌和長壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨(dú)特結(jié)合，使機(jī)器具有出色且堅(jiān)固的機(jī)械性能。壓電運(yùn)動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。
多軸壓電撓性位移臺
PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達(dá)6個軸上以亞納米級的精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運(yùn)動。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準(zhǔn)，并隨測量記錄一起提供。
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域：
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的脫氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長
專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
通過并聯(lián)運(yùn)動學(xué)實(shí)現(xiàn)高動態(tài)多軸運(yùn)行
在并聯(lián)運(yùn)動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速，動態(tài)且仍然精確的運(yùn)動。
P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動態(tài)納米定位儀
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時（根據(jù)帶寬）得到主動補(bǔ)償（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
常用型號
Physik Instrumente S-331.5SH
Physik Instrumente S-330.4SH
Physik Instrumente S-330.2SH
Physik Instrumente H-824.D2V
Physik Instrumente H-824.G2
Physik Instrumente H-820.D2
Physik Instrumente H-811.I2
Physik Instrumente E-500.00
Physik Instrumente E-505.00S
Physik Instrumente E-509.S3
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-727.3SD
Physik Instrumente E-709.CRG
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-664.S3
Physik Instrumente E-852.10
Physik Instrumente E-873.1AT
Physik Instrumente E-712.1AM
Physik Instrumente D-891.01E
Physik Instrumente D-510.051
Physik Instrumente U-521.24
Physik Instrumente L-741.133111
Physik Instrumente L-402.10SD
Physik Instrumente L-738.053111
Physik Instrumente L-741.131112
Physik Instrumente N-216.2A1 N
Physik Instrumente P-611.3S
Physik Instrumente Q-521.130
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客服熱線：
