德國 PI P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

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納米定位壓電撓性位移臺

PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導向精度與最小的串擾相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量學，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態(tài)掃描，在高達6的自由度下可達到幾百赫茲。

專有傳感器設計，無摩擦撓性導軌和長壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨特結(jié)合，使機器具有出色且堅固的機械性能。壓電運動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進行集成，并進行舒適的編程。

1.多軸壓電撓性位移臺

PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達6個軸上以亞納米級的精度進行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運動。版本范圍從最緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學計量，光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準，并隨測量記錄一起提供。 

P-616NanoCube®納米定位器

緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準

應用領域：

光纖定位和對準

掃描顯微鏡

2-光子聚合

納米技術(shù)與納米制造

光子學/集成光學

顯微操作

樣品定位

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復雜的真空應用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的脫氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

通過并聯(lián)運動學實現(xiàn)高動態(tài)多軸運行

在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設計允許快速，動態(tài)且仍然精確的運動。

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的動態(tài)納米定位儀

應用領域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為基準進行測量。軸之間不需要的串擾可以實時（根據(jù)帶寬）得到主動補償（主動引導）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。

2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀

PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務方面具有很高的動態(tài)性。標準產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。

平臺也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進行了預校準。 

V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅(qū)動器

用于顯微鏡物鏡的高動態(tài)定位器

使用PIFOC對目標進行Z定位

在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。

PIMag®音圈電機

音圈馬達是直接驅(qū)動器。在直接驅(qū)動中，驅(qū)動元件的力直接傳遞到要移動的負載上，而無需使用機械傳遞元件，例如聯(lián)軸器，驅(qū)動螺桿或齒輪箱。音圈驅(qū)動器由位于磁場氣隙中的永磁體和繞組體組成。當電流流經(jīng)繞組時，它會在永磁體的磁場中移動。音圈驅(qū)動器由于其重量輕且無摩擦的驅(qū)動原理，特別適合要求在有限行程范圍內(nèi)實現(xiàn)高動力和高速度的應用。這些驅(qū)動器還可以實現(xiàn)高掃描頻率和精確定位，因為它們不受磁滯的影響。

直接位置測量

直接在運動平臺上以最高的精度執(zhí)行位置測量，因此非線性，機械游隙或彈性變形對位置測量沒有影響。

集成重力補償

該產(chǎn)品配備了磁力稱重補償。即使沒有通電，也可以保持垂直于運動軸的最大1 kg負載的位置。重力補償可由用戶調(diào)整。

交叉滾子導軌

對于交叉的滾柱導軌，滾珠導軌中滾珠的點接觸被硬化滾柱的線接觸所代替。因此，它們更堅固，需要的預緊力更小，從而減少了摩擦并實現(xiàn)了順暢的運行。交叉滾子導向裝置還具有較高的導向精度和承載能力。力引導的滾動體保持架可防止保持架蠕變。

應用領域

顯微鏡：多光子熒光顯微鏡，深層組織檢查，數(shù)字玻片掃描顯微鏡。生物技術(shù)：采用Solexa-Illumina方法進行基因組測序，免疫分析熒光。

醫(yī)療設備：掃描激光眼科，自動細胞計數(shù)器/流式細胞儀。生物醫(yī)學研究：光學和磁性鑷子。激光材料加工：激光微加工，激光燒蝕。半導體行業(yè)：半導體/晶圓檢查。

PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)400 µm

高動態(tài)壓電驅(qū)動器，可實現(xiàn)亞納米分辨率

應用領域

顯微鏡檢查

共聚焦顯微鏡

3D成像

篩選

自動對焦系統(tǒng)

表面分析

晶圓檢查

多光子顯微鏡

直接位置測量帶來最高的精度

直接在運動平臺上測量運動，而不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的可重復性，出色的穩(wěn)定性以及快速響應的剛性控制。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

豐富的軟件可快速啟動生產(chǎn)運營

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環(huán)境中快速有效地實現(xiàn)。復雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運營的時間。

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ND72Z2LAQ PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)2000 µm

納米分辨率和快速步進和穩(wěn)定

應用領域

雙光子顯微鏡

共聚焦顯微鏡

3D成像

激光技術(shù)

干涉儀

生物技術(shù)

顯微操作

自動對焦，適合長途旅行

使用增量線性編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

PiezoWalk®行走驅(qū)動器可實現(xiàn)納米級精度和高進給力

多個壓電執(zhí)行器在PiezoWalk®行走驅(qū)動器中執(zhí)行行走運動，從而導致跑步者向前進給。致動器的控制允許最小的步進和正向進給運動，其分辨率遠低于1納米。

豐富的軟件可快速啟動生產(chǎn)運營

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環(huán)境中快速有效地實現(xiàn)。復雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運營的時間。