德國 PI 用于顯微鏡的PIFOC?物鏡和PInano?樣品掃描儀

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納米定位壓電撓性位移臺

PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá)6的自由度下可達(dá)到幾百赫茲。

專有傳感器設(shè)計(jì)，無摩擦撓性導(dǎo)軌和長壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨(dú)特結(jié)合，使機(jī)器具有出色且堅(jiān)固的機(jī)械性能。壓電運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。

1.多軸壓電撓性位移臺

PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米級的精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準(zhǔn)，并隨測量記錄一起提供。 

P-616NanoCube®納米定位器

緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

應(yīng)用領(lǐng)域：

光纖定位和對準(zhǔn)

掃描顯微鏡

2-光子聚合

納米技術(shù)與納米制造

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操作

樣品定位

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的脫氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

通過并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸運(yùn)行

在并聯(lián)運(yùn)動(dòng)多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個(gè)公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速，動(dòng)態(tài)且仍然精確的運(yùn)動(dòng)。

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位儀

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)（根據(jù)帶寬）得到主動(dòng)補(bǔ)償（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀

PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動(dòng)態(tài)性。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。

平臺也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進(jìn)行了預(yù)校準(zhǔn)。 

V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅(qū)動(dòng)器

用于顯微鏡物鏡的高動(dòng)態(tài)定位器

使用PIFOC對目標(biāo)進(jìn)行Z定位

在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動(dòng)物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。

PIMag®音圈電機(jī)

音圈馬達(dá)是直接驅(qū)動(dòng)器。在直接驅(qū)動(dòng)中，驅(qū)動(dòng)元件的力直接傳遞到要移動(dòng)的負(fù)載上，而無需使用機(jī)械傳遞元件，例如聯(lián)軸器，驅(qū)動(dòng)螺桿或齒輪箱。音圈驅(qū)動(dòng)器由位于磁場氣隙中的永磁體和繞組體組成。當(dāng)電流流經(jīng)繞組時(shí)，它會(huì)在永磁體的磁場中移動(dòng)。音圈驅(qū)動(dòng)器由于其重量輕且無摩擦的驅(qū)動(dòng)原理，特別適合要求在有限行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)力和高速度的應(yīng)用。這些驅(qū)動(dòng)器還可以實(shí)現(xiàn)高掃描頻率和精確定位，因?yàn)樗鼈儾皇艽艤挠绊憽?/p>

直接位置測量

直接在運(yùn)動(dòng)平臺上以最高的精度執(zhí)行位置測量，因此非線性，機(jī)械游隙或彈性變形對位置測量沒有影響。

集成重力補(bǔ)償

該產(chǎn)品配備了磁力稱重補(bǔ)償。即使沒有通電，也可以保持垂直于運(yùn)動(dòng)軸的最大1 kg負(fù)載的位置。重力補(bǔ)償可由用戶調(diào)整。

交叉滾子導(dǎo)軌

對于交叉的滾柱導(dǎo)軌，滾珠導(dǎo)軌中滾珠的點(diǎn)接觸被硬化滾柱的線接觸所代替。因此，它們更堅(jiān)固，需要的預(yù)緊力更小，從而減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了順暢的運(yùn)行。交叉滾子導(dǎo)向裝置還具有較高的導(dǎo)向精度和承載能力。力引導(dǎo)的滾動(dòng)體保持架可防止保持架蠕變。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微鏡：多光子熒光顯微鏡，深層組織檢查，數(shù)字玻片掃描顯微鏡。生物技術(shù)：采用Solexa-Illumina方法進(jìn)行基因組測序，免疫分析熒光。

醫(yī)療設(shè)備：掃描激光眼科，自動(dòng)細(xì)胞計(jì)數(shù)器/流式細(xì)胞儀。生物醫(yī)學(xué)研究：光學(xué)和磁性鑷子。激光材料加工：激光微加工，激光燒蝕。半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體/晶圓檢查。

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PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)400 µm

高動(dòng)態(tài)壓電驅(qū)動(dòng)器，可實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微鏡檢查

共聚焦顯微鏡

3D成像

篩選

自動(dòng)對焦系統(tǒng)

表面分析

晶圓檢查

多光子顯微鏡

直接位置測量帶來最高的精度

直接在運(yùn)動(dòng)平臺上測量運(yùn)動(dòng)，而不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟娜魏斡绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的可重復(fù)性，出色的穩(wěn)定性以及快速響應(yīng)的剛性控制。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

豐富的軟件可快速啟動(dòng)生產(chǎn)運(yùn)營

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個(gè)環(huán)境中快速有效地實(shí)現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運(yùn)營的時(shí)間。

ND72Z2LAQ PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)2000 µm

納米分辨率和快速步進(jìn)和穩(wěn)定

應(yīng)用領(lǐng)域

雙光子顯微鏡

共聚焦顯微鏡

3D成像

激光技術(shù)

干涉儀

生物技術(shù)

顯微操作

自動(dòng)對焦，適合長途旅行

使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機(jī)械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)納米級精度和高進(jìn)給力

多個(gè)壓電執(zhí)行器在PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器中執(zhí)行行走運(yùn)動(dòng)，從而導(dǎo)致跑步者向前進(jìn)給。致動(dòng)器的控制允許最小的步進(jìn)和正向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，其分辨率遠(yuǎn)低于1納米。

豐富的軟件可快速啟動(dòng)生產(chǎn)運(yùn)營

得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個(gè)環(huán)境中快速有效地實(shí)現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運(yùn)營的時(shí)間。