德國PI 壓電陶瓷納米定位系統P-612.2 XY

P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統

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結構緊湊，帶孔徑

P-612.2

§ 結構緊湊：表面60毫米×60毫米

§ 100微米×100微米閉環(huán)行程（130微米×1 30微米，開環(huán)）

§ 用于成本關鍵型應用

§ 通孔尺寸20毫米×20毫米

§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 也可提供緊湊型版本

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         高吞吐量顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術

·         生物技術

·         顯微操縱

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環(huán)。

訂購信息

P-612.20L

XY向納米定位系統，130微米 × 130微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，開環(huán)

P-612.2SL

XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，應變片傳感器

我們的優(yōu)勢：

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德國PI 壓電陶瓷納米定位系統P-612.2 XY