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PI (Physik Instrumente)壓電掃描儀P-363

    

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品牌PI (Physik Instrumente) 有效期至長期有效 最后更新2021-09-13 15:47
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PI (Physik Instrumente)壓電掃描儀P-363

PI (Physik Instrumente)壓電掃描儀P-363

PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)

譚晶
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P-363

§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)最高精度

§ 并聯(lián)測量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動(dòng)化 補(bǔ)償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

 

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

 

帶電容式傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

 

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。 它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

 

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

 

并聯(lián)位置測量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償(取決于帶寬)(主動(dòng) 導(dǎo)向)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

 

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

 

訂購信息

 

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng),5微米 × 5微米,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器

 

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng),5微米 × 5微米,平行計(jì)量,電容傳感器,LEMO連接器

 

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng),5微米 × 5微米 × 5微米,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器

 

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng),5微米 × 5微米 × 5微米,平行計(jì)量,電容傳感器,LEMO連接器


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PI (Physik Instrumente)壓電掃描儀P-363

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