德國(guó)PI 壓電陶瓷Z向位移臺(tái)/Z向和偏擺平臺(tái)P-541.Z ? P-541.T

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P-541.Z • P-541.T 壓電陶瓷Z向位移臺(tái)/Z向和偏擺平臺(tái)

低外形，大孔徑

§ 低外形用于實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易集成：16.5毫米

§ 通孔尺寸80 毫米×80 毫米

§ 行程達(dá)150微米

§ 偏擺角達(dá)1.2毫弧度

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 傳感器技術(shù)：便宜的應(yīng)變片傳感器或可 實(shí)現(xiàn)更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺(tái)組合實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)行程

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         生物技術(shù)

·         掩模/晶圓定位

·         樣本定位

·         干涉測(cè)量

·         計(jì)量

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速、動(dòng)態(tài)和精密的運(yùn)動(dòng)。

訂購(gòu)信息

P-541.ZCD

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺(tái)，100微米，電容傳感器，直接位置測(cè)量

P-541.TCD

帶大孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺(tái)，100微米 / 0.8毫弧度，平行計(jì)量，電容傳感器

P-541.ZSL

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺(tái)，100微米，應(yīng)變片傳感器

P-541.TSL

帶大通光孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺(tái)，100微米/0.8毫弧度，應(yīng)變片傳感器

P-541.Z0L

帶大通光孔徑的垂直納米定位平臺(tái)，150微米，不帶傳感器

P-541.T0L

帶大通光孔徑的納米定位器Z向和偏擺平臺(tái)，150微米/1.2毫弧度，不帶傳感器


 

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