PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動器N-216

NEXLINE線性促動器

長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

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N-216

§ 力量生成達(dá)600牛

§ 保持力達(dá)800牛

§ 行程20毫米

§ 帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器 5納米

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

§ 半導(dǎo)體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力 、數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運動，將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形

變不會對測量造成影響

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器 還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

訂購信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動器 ，20毫米，300牛，開環(huán)

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動器 ，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動器 ，20毫米，600牛，開環(huán)

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動器 ，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率

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PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動器N-216