德國(guó)PI (Physik Instrumente)P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

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柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

皮米級(jí)精度，高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

§ 用于AFM / SPM的高線性掃描儀

§ 分辨率高達(dá)20皮米，滯后小于1 納米

§ 閉環(huán)驅(qū)動(dòng)概念帶來最高帶寬

§ 用于生物技術(shù)/納米技術(shù)的最高精度操 縱工具

§ 諧振頻率為4.0千赫茲（X、Y）、11 千 赫茲 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描探針顯微鏡

·         原子力顯微鏡

·         掃描和篩選

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速、動(dòng)態(tài)和精密的運(yùn)動(dòng)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

訂購(gòu)信息

P-313.30L

高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環(huán)，LEMO連接器

P-313.30D

高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環(huán)，Sub-D連接器

P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)

§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)最高精度

§ 并聯(lián)測(cè)量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動(dòng)化 補(bǔ)償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描探針顯微鏡

·         原子力顯微鏡

·         掃描和篩選

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

訂購(gòu)信息

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.3CL

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，LEMO連接器