德國PI（Physik Instrumente）精密移臺 N-765 Z向位

PI (Physik Instrumente) 集團

PI在精密定位領(lǐng)域的卓越技術(shù)，新的驅(qū)動概念、產(chǎn)品和系統(tǒng)解決方案在過去幾年中為PI集團帶來了持續(xù)不斷的市場份額增長和健康的公司發(fā)展。

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PI (Physik Instrumente)簡介

PI集團全球共有六個生產(chǎn)點，四家位于德國，兩家位于海外，全球超過1000位員工，關(guān)鍵市場中有15家子公司，超過284項專利和專利申請，40多年的壓電陶瓷技術(shù)經(jīng)驗。

德國PI（Physik Instrumente）精密移臺 N-765 Z向位

--------具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅(qū)動器

1.      采用PIOne增量編碼器實現(xiàn)直接測量，分辨率為0.5納米

2.      最小位移達1納米

3.      行程為6.5毫米

4.      負載能力達25牛

5.      可以直接安裝在N-565線性定位器上

NEXACT®參考級線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動器的線性定位器可實現(xiàn)較長行程范圍內(nèi)的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實現(xiàn)最高精度。緊湊、扁平的設(shè)計使定位器能輕松實現(xiàn)機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動原理，其還能實現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅(qū)動器原理，PiezoWalk®步進驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進。前饋時，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保步進驅(qū)動器自鎖。因此，步進驅(qū)動器靜止狀態(tài)下將保持位置，關(guān)機時可實現(xiàn)機械穩(wěn)定（無伺服抖動）。靜止狀態(tài)自鎖，無能量消耗，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進行相應(yīng)處理后，可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量，因此非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應(yīng)。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導(dǎo)向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導(dǎo)向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變。

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。

德國PI（Physik Instrumente）精密移臺 N-765 Z向位

規(guī)格參數(shù)

主動軸：Z

行程：6.5毫米

系統(tǒng)分辨率: 0.5納米

集成傳感器: PIOne線性編碼器：增量，光學(xué)，直 接測量

傳感器分辨率: 0.5納米

最小位移:1納米

速度，閉環(huán):2.5毫米/秒

單向重復(fù)精度:6納米

雙向重復(fù)性:7納米

Z向運動時X向上的線性串擾:1.8微米

Z向運動時Y向上的線性串擾:2微米

Z向運動時θX向上的轉(zhuǎn)動串擾:25微弧度

Z向運動時θY向上的轉(zhuǎn)動串擾:41微弧度

Z向運動時θZ向上的轉(zhuǎn)動串擾:34微弧度

最大負載容量:25牛

電機類型: NEXACT壓電陶瓷步進驅(qū)動器

驅(qū)動力:20牛

保持力（被動）:25牛

工作電壓:-10到45伏

工作溫度范圍: 10至50 °C

質(zhì)量: 920克

材料: 鋁，陽極氧化致黑

電纜長度:3米

連接器: HD Sub-D 15針（公頭）

傳感器連接器: Sub-D 15（母頭）

推薦電控: E-861.1A1

訂購信息

N-765·060 精密Z向位移臺，行程為6.5毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，

推/拉力為25牛，尺寸為65 X 110x56毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅(qū)動器.