Vügtlin高精度熱質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器

　　可靠的技術(shù)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)接口使紅y智能系列熱質(zhì)量流量計(jì) (MFM) 和質(zhì)量流量控制器 (MFC) 特別適用于氣體輸送系統(tǒng)和工廠工程應(yīng)用中的測量和控制。

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　　技術(shù)規(guī)格 red-y 智能系列

　　測量范圍

　　空氣/全量度可自由選擇 體型 1/4" 從 0 ...25 毫升/分鐘到 0 ...60 ln/min (從 0 ...27 SCCM 到 0 ...64 SLPM)

　　體型 1/2" 從 0 ...60 ln/min 到 0 ...450 ln/min (從 0 ...65 SLPM 到 0 ...480 SLPM)

　　儀器版本

　　"標(biāo)準(zhǔn)"

　　經(jīng)濟(jì)解決方案 精度：±滿量表的1.0%*

　　折屏比：1 ：50

　　"高性能"具有

　　最高的精度和對空比

　　(適用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) /

　　GSC < 150 ln/min (150 SLPM) (空氣) 精度：±滿量表的0.3% = ±讀數(shù)* 的 0.5%*

　　折屏比：1 ： 100

　　*模擬信號可能應(yīng)用的附加誤差 ±0.25%

　　性能數(shù)據(jù)

　　介質(zhì)(實(shí)際氣體校準(zhǔn)) 空氣*，O2*，N2，He，Ar，CO2，H2，CH4，C3H8(其他氣體和氣體混合物應(yīng)要求)*O2

　　和N2用空氣校準(zhǔn)

　　響應(yīng)時(shí)間 儀表 (GSM)： ± 80ms*;控制器 (GSC)：± 500ms*

　　*取決于設(shè)備配置，根據(jù) SEMI 標(biāo)準(zhǔn) E17-1011，

　　在優(yōu)化條件下的 5-100% 范圍

　　重復(fù) ±滿量表的 0.2%(根據(jù) SEMI 標(biāo)準(zhǔn) E56-0309)

　　長期穩(wěn)定 < 測量值/年數(shù)的 1%

　　電源 24 Vdc (18 + 30 Vdc)，15 Vdc 應(yīng)要求提供

　　當(dāng)前消耗標(biāo)準(zhǔn) 儀表 (GSM)： 最大 100 mA;控制器 (GSC)：最大 250

　　mA(閥型 8 的 GSC 最大 490mA)

　　當(dāng)前消費(fèi) Profinet Rt / EtherCAT 儀表 (GSM)： 最大 125 mA;控制器 (GSC)：最大 340

　　mA(閥類型為 8 的 GSC 最大 560mA)

　　工作壓力 0.2 × 11 bar a (3 × 160 psia) / GSC，閥型 4.5 和 8 最大 8 bar a (120 psia)

　　溫度(環(huán)境/氣體) 0 ~ 50°C (32 × 122°F)

　　車身材料 陽極氧化鋁，可選不銹鋼電拋光

　　密封 Fkm， EPDM， 可選 FFKM

　　壓力靈敏度 < 0.2% / 柱閱讀(典型 N2)

　　溫度靈敏度 每 1°C 0.025% FS 測量范圍類型(每 1°C 的 0.012%<0.012%)

　　熱身時(shí)間 < 1 秒，全精度

　　集成與安裝

　　輸出信號模擬 0-20 mA， 4-20 mA， 0-5 V， 1-5 V， 0-10 V， 2-10 V

　　輸出信號數(shù)字 RS-485;莫德布斯R2U(奴隸);Labview - 2s 可用

　　選項(xiàng)： Profibus Dp - v0， Dp - v1 / Profinet Rt / Ethercat

　　過程連接 G1/4" (BSPP* 母)高達(dá) 60 ln/min (64 SLPM)

　　G1/2" (BSPP* 母) 高達(dá) 450 ln/min (480 SLPM)

　　*英國標(biāo)準(zhǔn)管道平行

　　入口部分 無需任何

　　電氣連接 子 D 插頭，9 極

　　安裝方向 任何位置(咨詢 5 柱以上或垂直安裝制造商)

　　安全

　　測試壓力 16 巴拉 (240 psia)

　　泄漏率 < 1 x 10-6 mbar l/s 他

　　入口保護(hù)類 IP50

　　Emc EN 61326-1

M-FLOWNS 1.0

　　M-FLOWNS 1.5

　　M-FLOWNS 2.0

　　M-FLOWNS 2.5

　　M-FLOWNS 3.0

　　M-FLOWNS 4.0

　　M-FLOWNS 6.5

　　 GCM-A9EA-BN00

　　 GCM-C3EA-BN00

　　 GCM-B5SA-BN00

　　 GSM-A3SA-BN00

　　 GCM-D4EA-BN00