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德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器

特點(diǎn)：

·         X，Y的行程范圍為100 µm×100 µm，Z的行程范圍為10 µm

·         電容式傳感器的分辨率可達(dá)0.1 nm

·         直接驅(qū)動(dòng)的高速版本

·         超高真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)可實(shí)現(xiàn)更高的精度和動(dòng)力學(xué)

·         并行計(jì)量，可主動(dòng)補(bǔ)償導(dǎo)向誤差

·         零間隙，高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)

·         透明孔徑50 mm×50 mm，用于透射光應(yīng)用

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩膜/晶圓定位

·         表面測(cè)量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操作

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         納米定位具有很高的平面度和運(yùn)動(dòng)平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無(wú)需潤(rùn)滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的除氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)地（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動(dòng)串?dāng)_（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。