瑞士Interapp高純度蝶閥執(zhí)行器

　　瑞士Interapp高純度蝶閥執(zhí)行器

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　　對高純度應用的高要求

　　減少所有類型的污染是生產對污染敏感的產品(如半導體或制藥行業(yè))的最重要目標。為了保證無故障生產過程并排除關鍵殘留物，制造過程中使用的所有產品都必須表現(xiàn)出高度純度。

　　為了分析我們的Bianca蝴蝶閥，Exyte技術有限公司的跟蹤分析部門，清潔室技術和控制環(huán)境專家，根據(jù)SEMB F40和F57委托進行粒子和 TOC測試。

　　粒子測試

　　使用超現(xiàn)代粒子測量裝置Ultra DI 50在粒子殘留物上測試了高純度執(zhí)行中的Bianca蝴蝶閥，這是跟蹤分析的理想之選。

　　根據(jù) SEMI F40 和 F57，允許最大限值為 0.10 顆粒/毫升。比安卡蝴蝶閥的測試值為0.01顆粒/毫升，遠遠低于允許值。

　　托克測試

　　在 TOC 測試(有機碳測試總量)范圍內，分析了超純水中所有有機碳的總和。

　　根據(jù) SEMI F40 和 F57 標準，該測試定義了 1 < ppb 的限制值。比安卡蝴蝶閥門也跌破這個值，測試值為0.7ppb。

　　高純度蝴蝶閥比安卡 - 高純度應用的絕對安全性

　　Exyte技術有限公司進行的粒子測試和 TOC 測試都證實，高純度執(zhí)行中的 Bianca 蝴蝶閥具有高度純度，非常適合用于生產對污染敏感的產品。

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